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无尘室的分类 | 无尘室依等级的不同而在气流设计上面有所区别,一般可分为垂直层流方式(Class1-100)、水平层流方式(Class1-1,000)、乱流方式(Class1,000-100,000),其详细区分如下表: |
气流方式 | 洁净度 | 风速 (/s) | 换气次数(次/h) | 吹入口、吸入口 | 优点 | 缺点 | 价格比 | 垂直层流方式 | Class1 - 100 | 0.25 - 0.40 | 200 - 600 | 吹出:天花板的80%以上。 吸入:壁板的40%以上,从侧面板亦可。 | 效果完全 不易被作业人员及作业状态所影响 开始运转后即刻变为稳定状态 粉尘的堆积及再漂浮极少 管理容易 | 需注意天花板部的无效空间(照明等) 换过滤器教麻烦 设备费非常高 房屋的扩充较困难 | 100 | 水平层流方式 | Class1 | 0.45 - 0.50 | 200 - 600 | 吹出:壁板的80%以上。 吸入:壁板的40%以上,从天花板亦可。 | 运转开始后即刻变为稳定状态构造简单 | 上游的影响会在下游出现 人员及机器的配置及管理须注意 设备费非常高 房屋的扩充较困难 | 50-80 | Class1,000 | —— | 100 - 200 | 30-50 | 乱流方式(传统式) | Class1,000 - 100,000 | —— | 30 - 60 | 吹出:过滤器吹出口较好。 吸入:从地板附近。 | 构造简单 设备费低 房屋的扩充比较容易 若再加用无尘台可确保高洁净度 | 由于气流的乱流污染粒子有可能在室内循环 到稳定状态须花一段时间 人员及机器的配置及管理须注意 | 10-40 | | | |
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